半导体load port：提高半导体生产效率的重要设备 什么是load port？ load port是半导体生产过程中的重要设备之一，用于将晶圆从外部运输到半导体生产设备中进行加工。load port通常由机械臂、气缸、传感器等部件组成，可以自动完成晶圆的装载、卸载、旋转等操作。 半导体load port的作用 半导体load port主要作用是提高半导体生产的效率和减少人工操作，从而降低生产成本。由于半导体生产过程需要在无尘室中进行，因此传统的人工操作容易造成污染和误差，而load por